Equipment

CNN Equipment

• Nanoprinter - BioForce Nanoenabler (PHO 503, Training, View Schedule)

Available Equipment

Klapperich Labs Shared Equipment

• Nanoindenter - Hysitron Triboscope (PHO B19, Training, Scheduling Policy, View Schedule)

• Atomic Force Microscope - Asylum MFP-3D (ERB 509, Training, View Schedule)

Nanoscience Research Facility

• Scanning E-beam Writer JEOL JSX 6400: ( Training,  View Schedule )
  Fitted with the Deben beamblanker and Nabity NPGS System for e-beam writing with lateral resolution of 40 nm with the current tungsten filament configuration. Planned modifications in the future include the addition of a X-ray spectrometer, a low-temperature stage and a lanthanum-hexaboride (LAB6) filament configuration for sub-10-nm resolution e-beam writing.

• Mask Aligner - Karl-Suss MJB-3: ( Training, View Schedule )
  Fitted with a UV light source for optical lithography down to a resolution of 5 microns. NRF also has a large collection of e-beam-written 4-inch masks, which include a variety of mesa structures.

• Surface Profilometer - Dektak IIA:
  Enables thickness measurements down to 5-nm resolution.

• Optical Microscope - Zeiss x100
  

• Probe Station:
  Contains manual and automatic (robotic) control for electrical continuity checks. Fitted with a sensitive current source (Keithley 2400: 10 nA) and a high-frequency (1 MHz) LCR Meter (HP 4284A).

• K&S Wirebonder:
  The K&S 484 wirebonder is a mechanical wedge bonder. Fitted with an ultrasonic source, it enables wirebonding of gold and aluminum wires (down to 1 mil (25 micron) diameter) to thin electrical pads.

• Atomic Layer Deposition System: ( Training, View Schedule )
  Savannah 100, Cambridge NanoTech

            Lab Manager: Prof. Raj Mohanty

BME Core Facilities

Micro/Nano Biosystems Fabrication Facilities

Lab Manager: Dr. Ze'ev Feit

Biointerface Technologies Facilities

Lab Manager: Dr. Xin Brown

Micro/Nano Imaging

Lab Manager: Dr. Phil Allen

Whitaker BioMEMS Facility

Class 100 Clean Room (ERB 718)

            Lab Managers: Dr. Ze'ev Feit, Prof. Amit Meller

Precision Measurement Laboratory (Schedule)

        Materials Property Characterization Equipment

    Scanning Electron Microscope (Schedule)        JEOL JSM-6100
    Energy Dispersive X-Ray Spectrometer            Oxford ISIS
    Cathode Luminescence Detection System        Gatan MonoCL2


Surface Morphology Characterization Equipment

    Field Emission Scanning Electron Microscope   Zeiss SUPRA 40VP
    Scanning Probe Atomic Force Microscope       Digital Instruments (VEECO) Dimension 3100
    PicoForce Scanning Probe Microscope            VEECO Metrology PicoForce

Optoelectronic Processing Facility (Schedule)

Class 100 Photolithography Cleanroom

        Photoresist Spinner Hood                                Headway Research CB-15
        Spinner/Hotplate System                                 Karl Suss Delta 80T2
        Mask Aligner                                                  Karl Suss MJB3
        Mask Aligner                                                  Karl Suss MA6
        Microscope (with video)                                 Nikon Optiphot 150S
        Stereo Microscope (with video)                      Nikon SMZ-800
        Microscope (with video, Nomarski)                Leitz Metalloplan

Thin Film Deposition and Analysis Equipment

        Thermal Evaporator                                        BOC Edwards Auto 306
        Electron Beam Evaporator                              BOC Edwards Auto 306
        Ion Beam Assisted Deposition                        Commonwealth Scientific 1160
        Thermal Oxide Furnace                                  MRL Industries HT 1012
        DC/RF Magnetron Sputter                             Denton Vacuum Discovery 18
        Electron Beam Evaporator                              Sharon Vacuum Custom Design
        Rapid Thermal Processor                                Modular Process Technology 600S
        Ellipsometer                                                    Rudolph Auto EL-II
        Surface Profiler                                               KLA Tencor Alpha-Step 500


Plasma Etching and Cleaning

       Reactive Ion Etcher                                         Plasma-Therm 790
       Plasma Asher                                                  PVA TePla America M4L
       Deep Reactive Ion Etcher                                Surface Technology Systems ASE HRM
       Chemical Hood
       O2 Plasma Asher                                             March Plasmod
       O2 Plasma Barrel Etcher                                  Branson PM-1820

Wirebonding and Electrical Testing

       Ball Bonder                                                      Kulicke & Soffa 4124
       Wedge Bonder                                                 Kulicke & Soffa 4523
       Probe Station                                                   Kark Suss PM5
       Semiconductor Parameter Analyzer                  HP 4155A
       Precision LCR Meter                                       HP 4284A
       4 Point Probe                                                   Cascade Microtech CPS-05


Post Processing Equipment

       Manual Scriber                                                 Karl Suss HR100
       Stereo Microscope                                           Nikon SMZ-800
       Microscope                                                      Leitx Metalloplan
       Dicing Saw                                                       Dicing Technology Basic-Dice II

Integrated Optics Laboratory (Schedule)

Class 100 Photolithography Cleanroom
Bonding Equipment
Alignment Stations
Curing Stations
Test Equipment
Spectroscopy Equipment